@phdthesis{oai:tuat.repo.nii.ac.jp:00001983,
 month = {2022-06-13, 2022-06-13, 2022-06-13},
 school = {東京農工大学, Tokyo University of Agriculture and Technology},
 title = {半導体装置製造用の電子サイクロトロン共鳴を用いたエッチング処理室におけるマイクロ波伝搬と均一プラズマ生成に関する研究},
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