@phdthesis{oai:tuat.repo.nii.ac.jp:00001908, month = {2021-12-10, 2021-12-10, 2021-12-10}, school = {東京農工大学, Tokyo University of Agriculture and Technology}, title = {トリハライド気相成長法によるIII族窒化物およびIII族セスキ酸化物半導体の結晶成長に関する研究}, year = {} }