@phdthesis{oai:tuat.repo.nii.ac.jp:00001287, month = {2016-06-10, 2016-06-10, 2016-06-10}, school = {東京農工大学, Tokyo University of Agriculture and Technology}, title = {ハライド気相成長法による酸化ガリウムのホモエピタキシャル成長に関する研究}, year = {} }