@phdthesis{oai:tuat.repo.nii.ac.jp:00001284, month = {2016-06-10, 2016-06-10, 2016-06-10}, school = {東京農工大学, Tokyo University of Agriculture and Technology}, title = {トリハライド気相成長法によるInGaN厚膜成長に関する研究}, year = {} }